深圳大学廖常锐教授、王义平教授团队与合作者研制出一种光纤型微力传感器，实现了纳牛顿（nN）级微弱力的测量。该研究团队采用飞秒激光双光子聚合纳米光刻技术，首次在单模光纤端面3D打印出基于微米尺寸固支梁探针的微力传感结构。该结构中，光纤端面与固支梁构成光学法-珀微腔，通过对法-珀微腔白光干涉光谱解调获得施加力和传感器输出之间的线性关系，并利用固支梁探针的结构紧凑、低刚度和高弹性，使光纤微力传感的力学检测灵敏度高达1.51 nm/μN、检测下限低至54.9 nN。进一步，他们利用该传感器实现了对聚二甲硅氧烷（PDMS）材料样本和蝴蝶触角等生物样本杨氏模量的精确测量。研究成果以“Fiber-tip polymer clamped-beam probe for high-sensitivity nanoforce measurements)”为题，发表在Light: Science & Applications上。