据中科院理化所官网报道，仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室郑美玲研究员团队联合暨南大学段宣明教授团队近日在飞秒激光超衍射纳米光刻技术制备3D无机纳米结构研究方面取得了新进展。该研究工作中，研究团队以波长为780 nm的飞秒激光（重复频率为80 MHz，脉冲宽度为120 fs）作为光源，突破光学衍射极限的限制，在无机光刻胶HSQ（氢倍半硅氧烷）中获得了仅为激光波长三十分之一（λ/ 30）的26 nm光刻特征尺寸，并制备出了具有优异的耐高温和耐溶剂性能的3D无机微结构。此外，还利用飞秒激光超衍射纳米光刻技术构筑了多种基于无机纳米结构的光子学微器件和仿生微结构。该成果以λ/30 Inorganic Features Achieved by Multi-Photon 3D Lithography为题发表在Nature Communications。